自动取片。
雷兵也忍不住上前一步，询问道：“这束光能用吗？如果能用是不是意味着我们能造3纳米芯片了？”
林天在检验了十几束13.5纳米波长的极紫外光后，也发现了单色性最好的一条光束，将它设定为1号光刻区域。
第一期相当于测试，等测试通过就可以扩建二期、三期甚至是第四期的光刻工厂。
岂不是能刻3纳米芯片？
“确实是我们操之过急了。”
“我马上操作。”
要是真能造3纳米芯片，那可不是小小的科技震撼，而是向整个半导体芯片行业扔了个蘑菇弹，要颠覆整个行业的事情了。
林天喃喃自语。
“趁着天没亮，我们尽快测试光束的可行性吧。”陈星提醒一句。
“我们没有单独完整的SOC上帝芯片光掩膜版，只能用两块阴阳掩膜版堆叠在一块形成完整图案，这又会出现个问题。”
林天点了点头回应道。
存放在特定区域的半导体硅片被静电吸盘吸起，运送到清洗区域，洗掉附着在半导体硅片表面的灰尘和杂质。
自动光刻。
像似给陈星几人解释，又像似说给自己听。
当然了。
前提是可以能光刻成功。
“这句话在理。”
自动清洗。
两块光掩膜版已经重叠，他们在特定
这也是为什么第一期的光刻工厂只有5000平的原因，因为建造太大也没用，像静电吸盘和各类自动化运输的设备，都是需要定制化购买的，关键有些设备国内还没有，比如静电吸盘设备。
在半导体领域，可不仅仅光刻机和紫外光有纳米等级，光刻胶同样有纳米等级区分。
又经过了十分钟的参数调试，排除外故障情况，林天输入了确定工作的指令。
自动涂胶。
他们现在可是关了全深城的电力供应，哪怕是凌晨4点钟，但依然会对城市造成影响。
在清洗完成以后，半导体硅片会通过特殊运输通道，运往下一个步骤进行烘烤，待半导体硅片彻底干燥将继续运往下一个步骤，涂抹光刻胶。
“为了解决这个问题，我加大了粒子加速器的功率，让电子运动的速度再次增加。”
“理论上来说，运行功率的加大，会同步放大电子运动的速度，电子在环形存储器的速度越快，辐射出的极紫外光能量就越强，但我并不能确定这个数值是不是正确的，只能说理论可行。”
光刻工厂没有人测试过，谁也不知道行不行。
现在又因为光掩膜版限制，林天只能加大功率，这给测试又增添了不小的难度。
“试试就知道了。”
陈星默默举起手机拍摄。
虽然他们在操控室，但面前的屏幕有显示洁净室的